芯片制造過程十分復雜,其中很重要的一步就是芯片清洗,超純水占有重要地位。...
目前,超純水設備的方法通常采用反滲透、去離子或電去離子(EDI)等工藝。...
EDI超純水系統處理過程中無需添加化學品,減少了化學品輸送問題,降低了系統運行成本。...
超純水設備為芯片生產用水助力,是芯片生產過程中重要的設備之一。高質量的芯片生產離不開超純水的支持,也離不開高質量超純水設備的支持。...
萊特萊德芯片生產用超純水設備通常由石英砂過濾器、活性炭過濾器、阻垢劑、精密過濾器等組成預處理系統,RO反滲透主機系統、離子交換混床(EDI電除鹽系統)系統等組成主設備系統。...
萊特萊德超純水設備的脫鹽核心部件為反滲透膜組件、EDI系統和拋光混床,超純水系統設備通常由預處理部分、反滲透主機部分和后處理部分共同組成,具有無需酸堿再生、操作簡單、維護方便等諸多優勢。...
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