芯片制造過程十分復(fù)雜,其中很重要的一步就是芯片清洗,超純水占有重要地位。...
目前,超純水設(shè)備的方法通常采用反滲透、去離子或電去離子(EDI)等工藝。...
EDI超純水系統(tǒng)處理過程中無需添加化學(xué)品,減少了化學(xué)品輸送問題,降低了系統(tǒng)運行成本。...
超純水設(shè)備為芯片生產(chǎn)用水助力,是芯片生產(chǎn)過程中重要的設(shè)備之一。高質(zhì)量的芯片生產(chǎn)離不開超純水的支持,也離不開高質(zhì)量超純水設(shè)備的支持。...
萊特萊德芯片生產(chǎn)用超純水設(shè)備通常由石英砂過濾器、活性炭過濾器、阻垢劑、精密過濾器等組成預(yù)處理系統(tǒng),RO反滲透主機系統(tǒng)、離子交換混床(EDI電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等組成主設(shè)備系統(tǒng)。...
萊特萊德超純水設(shè)備的脫鹽核心部件為反滲透膜組件、EDI系統(tǒng)和拋光混床,超純水系統(tǒng)設(shè)備通常由預(yù)處理部分、反滲透主機部分和后處理部分共同組成,具有無需酸堿再生、操作簡單、維護方便等諸多優(yōu)勢。...
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