超純水是一種接近高純度的水，其純凈度是我們?nèi)粘Ｖ泻鹊牡V泉水的4000倍，不過也正因?yàn)樗?ldquo;干凈”，它里面除了水分子外，幾乎沒有什么雜質(zhì)存在...(也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水)。它沒有細(xì)菌、病毒，當(dāng)然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素，所以看似純凈，卻并不適合飲用，而且超純水在自然界中基本是不存在的，想要獲取需要經(jīng)過一系列復(fù)雜的高科技工藝，才能生產(chǎn)制造出這種水。

　　超純水是一般工藝很難達(dá)到的程度，采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級(jí)處理四大步驟，多級(jí)過濾、高性能離子交換單元、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法，電阻率方可達(dá)18.25MΩ*cm。

　　預(yù)處理

　　包括砂濾、多介質(zhì)過濾、軟化、加氯、調(diào)節(jié)pH、活性碳過濾、脫氣等。過濾可除去1～20微米大小的顆粒，軟化和調(diào)節(jié)pH可防止反滲透膜結(jié)垢，加氯是為了殺菌。

　　脫鹽

　　反滲透是滲透現(xiàn)象的逆過程,在濃溶液上加壓力,使溶劑從濃溶液一側(cè)通過半透膜向稀溶液一側(cè)反向滲透，脫鹽可達(dá)98%，并能除去99%的細(xì)菌顆粒和溶解在水中的有機(jī)物。

　　精處理

　　超濾是把各種選擇性的分子分離。在超濾過程中，水在壓力下流過一個(gè)卷式或中空纖維膜棒。膜孔徑在10～200埃范圍內(nèi),薄膜厚度為0.1～0.5微米,附在一個(gè)中孔的纖維棒內(nèi)壁上，超濾能除去細(xì)菌和0.05微米的粒子。

　　如此復(fù)雜工藝生產(chǎn)出來的“超純水”，在半導(dǎo)體行業(yè)如今正在如火如荼的應(yīng)用著。超純水可作為芯片生產(chǎn)的清洗用水，直接影響著芯片的良品率，是十分重要的步驟之一。