半導體行業(yè)用超純水設備采用PLC+觸摸屏控制,全套系統(tǒng)自動化程度高,系統(tǒng)穩(wěn)定性高,大大節(jié)省人力成本和維護成本。水利用率高,運行可靠,經(jīng)濟合理。使設備與其它同類產品相比較,具有更高的性價比和設備可靠性。
半導體行業(yè)用超純水設備工藝
預處理→UF系統(tǒng)→一級反滲透→PH調節(jié)→級間水箱→二級反滲透→中間水箱→中間水泵→紫外線殺菌器→微孔過濾器→EDI裝置→氮封水箱→增壓水泵→拋光混床→循環(huán)增壓泵→用水對象(≥18MΩ.CM)
半導體行業(yè)用超純水設備特點
為滿足用戶需要,達到符合標準的水質,盡可能地減少各級的污染,延長設備的使用壽命、降低操作人員的維護工作量,在工藝設計上,以符合國家自來水標準的水作為源水,再設有介質過濾器,活性碳過濾器,鈉離子軟化器、精密過濾器等預處理系統(tǒng)、RO反滲透主機系統(tǒng)、EDI系統(tǒng)、拋光混床等。 系統(tǒng)中水箱均設有液位控制系統(tǒng)、高壓水泵設有壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無人職守,同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法,使設備與其它同類產品相比較,具有更高的性價比和設備可靠性。
系統(tǒng)應用場合
☆半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路
☆電解電容器生產鋁箔及工作件的清洗
☆電子管生產、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液
☆顯像管和陰極射線管生產、配料用純水
☆黑白顯像管熒光屏生產、玻殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管頸清洗用純水
☆液晶顯示器的生產、屏面需用純水清洗和用純水配液
☆晶體管生產中主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制
☆集成電路生產中高純水清洗硅片
☆LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏
☆高品質顯像管、螢光粉生產
☆半導體材料、晶元材料生產、加工、清洗
☆超純材料和超純化學試劑、超純化工材料
☆實驗室和中試車間
☆汽車、家電表面拋光處理
☆光電產品、其他高科技精微產品
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